氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗(yàn)儀

根據(jù)壓頭上自動連續(xù)增加的垂直載荷，測定完quan劃透薄膜并使之從其基體上連續(xù)剝離所需要的最小載荷，即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷LC。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：JB/T 8554-1997

測定LC的自動劃痕試驗(yàn)機(jī)的結(jié)構(gòu)原理如圖1所示。該儀器由下列主要部件組成：A—壓頭連續(xù)加載電機(jī)；B—聲發(fā)射探頭，探測劃痕產(chǎn)生的聲發(fā)射強(qiáng)度并輸入微機(jī)；C—洛氏硬度計(jì)標(biāo)準(zhǔn)壓頭；D—試樣臺；E—位移電機(jī)，用以勻速沿水平方向拖動試樣臺；F—切向摩擦力傳感器，連續(xù)檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機(jī)；G—試樣臺高度升降螺桿；H—加載壓力傳感器；I—光學(xué)顯微鏡(≥40×)；J—信號放大器；K—變換控制器；L—微型計(jì)算機(jī)（嵌入式工業(yè)電腦），用以實(shí)施測試自控和自動處理數(shù)據(jù)，并動態(tài)顯示及存貯數(shù)據(jù)與圖形；M—試樣；N—CRT顯示器；O—繪圖打印機(jī)，輸出試驗(yàn)結(jié)果；P—壓頭加載機(jī)構(gòu)；Q—主支架。

技術(shù)參數(shù)

控制系統(tǒng)：PLC+Windows系統(tǒng)

操作界面：彩色觸摸屏15寸，嵌入式工業(yè)電腦

樣品尺寸：長方體：長40～50mm，寬30～45mm，高6～20mm；或圓柱體φ(40～45)mm×(6～20)mm；

樣品要求：試樣在溫度(20±5)℃和相對濕度(50±10)%RH的條件下至少放置8h，然后按規(guī)定步驟測試只需很少的測試次數(shù)即可評價(jià)劃痕特性；

壓頭規(guī)格：按GB/T 2848規(guī)定的條件選擇金剛石壓頭(頂角120°，頂端半徑R在200μm±5μm范圍內(nèi))，在不小于40倍的顯微鏡下檢測壓頭，確認(rèn)其頂端是光滑潔凈的球面，方可使用。

劃痕速度：(10±1)mm/min可在觸摸屏任意設(shè)置；

加載速率：對硬質(zhì)薄膜為(20～40)N/min；對非硬質(zhì)薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N;

精度：0.03N；

電機(jī)：伺服電機(jī)86型+驅(qū)動器;

運(yùn)動模式：絲桿+導(dǎo)軌，精度0.001mm；

光學(xué)顯微鏡：50倍以上鏡片配置；

曲線圖：加載壓力，恒定壓力，摩擦力，垂直載荷關(guān)系圖，XY關(guān)系圖；

測試高度范圍：0-100mm；

測試模式：往復(fù)式運(yùn)動，可單線運(yùn)動，工業(yè)電腦觸摸屏上設(shè)置；

運(yùn)動范圍：Y距離0-900mm，Y距離0-540mm;

用電：220V,120W,20A,50hz；

外形尺寸約：1000mm*600*640mm；

氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗(yàn)儀